在高功率密度激光束的加热下，材料表面温度升至沸点温度的速度是如此之快，足以避免热传导造成的熔化，于是部分材料气化成蒸汽消失，部分材料作为喷出物从切缝底部被辅助气体流吹走,当入射的激光束功率密度超过某一值后
，光束照射点处材料内部开妈蒸发，形成孔洞
。一旦这种小孔形成，它将作为黑体吸收所有的入射光束能量
。小孔被熔化金属壁所包围，然后
，与光束同轴的辅助气流把孔洞周围的熔融材料带走。随着工件移动
，小孔按切割方向同步横移形成一条切缝。激光束继续沿着这条缝的前沿照射， 熔化材料持续或脉动地从缝内被吹走。